펠리클1 (반도체와반도체장비)에프에스티(036810) 반도체 및 디스플레이 제조에 필요한 펠리클, 칠러 개발 및 제조업체로 1987년 설립되어 1988년 Pellicle 국내 생산에 성공했으며 이후 Thermo-electric Chiller, KrF/ ArFPellicle 개발 성과를 바탕으로 2000년 1월 코스닥 시장에 상장했습니다. 주요 사업부는 재료(펠리클) 사업부, 장비(TCU) 사업부, APS 사업부입니다. 주요 고객사는 삼성전자, SK하이닉스, LG이노텍, LG디스플레이가 대표적입니다. 펠리클 사업부는 크게 반도체(ArF) 펠리클과 디스플레이(FPD) 펠리클로 분류됩니다. 반도체(ArF) 펠리클은 반도체 제조 시 노광(Photolithography) 공정에서 포토마스크(Photomask)를 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 부품을 의미합니다... 2024. 2. 24. 이전 1 다음 반응형
